{"id":35384,"date":"2021-05-27T10:33:20","date_gmt":"2021-05-27T08:33:20","guid":{"rendered":"https:\/\/www.inovallee.com\/?p=35384"},"modified":"2021-05-27T10:33:20","modified_gmt":"2021-05-27T08:33:20","slug":"nova-leader-en-metrologie-embarquee-sur-le-marches-du-semiconducteur","status":"publish","type":"post","link":"https:\/\/www.inovallee.com\/en\/nova-leader-en-metrologie-embarquee-sur-le-marches-du-semiconducteur\/","title":{"rendered":"Nova, leader en m\u00e9trologie embarqu\u00e9e, joue la carte de la compl\u00e9mentarit\u00e9 m\u00e9trologie & caract\u00e9risation sur le march\u00e9s du Semiconducteur"},"content":{"rendered":"

Nova Measuring Instruments, dont le si\u00e8ge social est situ\u00e9 en Isra\u00ebl, <\/strong>propose une large gamme d\u2019\u00e9quipements d\u2019inspection et de m\u00e9trologie pour l\u2019industrie des semiconducteurs. L\u2019enjeu pour l\u2019entreprise et ses 750 collaborateurs, r\u00e9partis dans 18 pays\u00a0: permettre \u00e0 ses clients d\u2019am\u00e9liorer la performance des process, d\u2019obtenir des rendements plus \u00e9lev\u00e9s et d\u2019acc\u00e9l\u00e9rer la mise sur le march\u00e9 de leurs circuits int\u00e9gr\u00e9s. Disposant d\u2019un bureau dans les deux principaux p\u00f4les europ\u00e9ens du semicon, \u00e0 Dresden et \u00e0 Grenoble, en plein c\u0153ur d\u2019inovall\u00e9e, Nova accompagne les principaux acteurs de ce secteur . D\u00e9tenant un portefeuille d\u2019environ 300 brevets, l\u2019entreprise isra\u00e9lienne pourrait avoir la capacit\u00e9 de mesurer et caract\u00e9riser les mat\u00e9riaux semiconducteurs \u00e9mergents. Convaincue que l\u2019Europe a un r\u00f4le majeur \u00e0 jouer en mati\u00e8re de R&D pour rattraper son retard dans la course \u00e0 l’innovation, Nova a parfaitement identifi\u00e9 le potentiel de d\u00e9veloppement de synergies fortes avec les acteurs grenoblois du semicon.<\/strong><\/p>\n

Les process de fabrication des dispositifs \u00e0 semiconducteur pour cr\u00e9er des puces, les circuits int\u00e9gr\u00e9s pr\u00e9sents dans les appareils \u00e9lectriques et \u00e9lectroniques de notre quotidien, sont de plus en plus complexes, pouvant aller jusqu\u2019\u00e0 une centaine d\u2019\u00e9tapes. Plut\u00f4t que de proc\u00e9der \u00e0 une phase finale de tests \u00e9lectriques, les fabs se sont donc dot\u00e9es d\u2019\u00e9quipements d\u2019inspection et de m\u00e9trologie puissants pour effectuer des contr\u00f4les \u00e0 chaque \u00e9tape, afin de v\u00e9rifier que le d\u00e9p\u00f4t de mati\u00e8re est dans les sp\u00e9cifications attendues et que les connexions se font bien entre les transistors et les diff\u00e9rentes lignes de m\u00e9tal.<\/p>\n

En effet, une cavit\u00e9 mal remplie de mat\u00e9riau conducteur, une couche d\u2019isolant hors sp\u00e9cification et c\u2019est la performance du composant qui est impact\u00e9e, entrainant des pertes de rendement, voire des effets d\u2019\u00e9chauffement.<\/p>\n

M\u00e9trologie dimensionnelle\u00a0: contr\u00f4ler l\u2019\u00e9paisseur des couches, un d\u00e9fi majeur \u00e0 relever pour l\u2019industrie du Semicon<\/h2>\n

Parmi les d\u00e9fis \u00e0 relever pour l’industrie du semiconducteur, le contr\u00f4le de la qualit\u00e9 et de l’\u00e9paisseur des couches minces est en effet essentiel pour la performance et la fiabilit\u00e9 de la puce. En outre, il peut d\u00e9terminer les performances des \u00e9tapes de traitement ult\u00e9rieures. Il est donc primordial que les caract\u00e9ristiques cl\u00e9s du processus de d\u00e9p\u00f4t soient surveill\u00e9es et contr\u00f4l\u00e9es. Par exemple, l’uniformit\u00e9 de l’\u00e9paisseur du film apr\u00e8s le d\u00e9p\u00f4t a un impact sur les performances des \u00e9tapes ult\u00e9rieures de CMP (Chemical Mechanical Polishing<\/em>).<\/p>\n

La surveillance et le contr\u00f4le des propri\u00e9t\u00e9s du film sont \u00e9galement critiques pour le canal du transistor, constitu\u00e9 de couches de silicium et de silicium-germanium. Pour certains dispositifs, ces couches doivent \u00eatre mesur\u00e9es sur des structures complexes en 2D ou 3D. De plus, la teneur en germanium dans les couches de silicium-germanium doit \u00eatre contr\u00f4l\u00e9e. Une mesure rendue encore plus difficile pour les dispositifs qui ont plusieurs couches de silicium-germanium, chacune ayant une concentration de germanium diff\u00e9rente.<\/p>\n

Les technologies avanc\u00e9es de Nova permettent \u00e0 ses clients de d\u00e9tecter et de quantifier avec pr\u00e9cision les petites variations dans la composition et l’\u00e9paisseur des couches. Nova propose en effet \u00e0 ses clients, leaders dans le domaine des semi-conducteurs, des plateformes de m\u00e9trologie optiques int\u00e9gr\u00e9es et autonomes en ligne pour caract\u00e9riser les dimensions critiques (CD) avec une grande pr\u00e9cision<\/strong>. Sa gamme de produits de m\u00e9trologie, combin\u00e9e \u00e0 un logiciel d’algorithme de mod\u00e9lisation, offre des capacit\u00e9s de mesure uniques pour les n\u0153uds technologiques de semi-conducteurs les plus avanc\u00e9s.<\/p>\n

Nova designe des \u00e9quipements r\u00e9serv\u00e9s aux laboratoires pour les usines : une strat\u00e9gie payante<\/h2>\n

La technologie Nova de M\u00e9trologie dimensionnelle s\u2019allie \u00e0 une technologie innovante de m\u00e9trologie des mat\u00e9riaux pour les dispositifs \u00e0 circuits int\u00e9gr\u00e9s avanc\u00e9s. Les \u00e9quipements de spectrom\u00e9trie \u00e0 rayons X \u00e9taient, \u00e0 l\u2019origine, r\u00e9serv\u00e9s \u00e0 l\u2019usage des laboratoires \u00e9tant donn\u00e9 la complexit\u00e9 des machines. La strat\u00e9gie de Nova a alors consist\u00e9 \u00e0 designer ces \u00e9quipements pour qu\u2019ils puissent \u00eatre int\u00e9gr\u00e9s dans les usines pour le contr\u00f4le des processus en ligne des semi-conducteurs, permettant une mesure avanc\u00e9e des dimensions et des propri\u00e9t\u00e9s des mat\u00e9riaux tout au long du cycle de vie de la fabrication. Les solutions optiques et \u00e0 rayons X en ligne de Nova utilisent une m\u00e9trologie non destructive avec des temps de mesures compatibles avec les exigences de l\u2019industrie du semiconducteur<\/strong>.<\/p>\n

Nova apporte aujourd\u2019hui un large spectre de technologies, uniquement disponibles pr\u00e9c\u00e9demment dans les laboratoires, telles que la spectroscopie photo\u00e9lectronique induits par rayons X (en anglais, X-Ray photoelectron spectrometry<\/em> : XPS) et la spectrom\u00e9trie de fluorescence des rayons X (XRF), pour fournir des informations \u00e9tendues en mesurant une large gamme d’applications. Ces solutions de m\u00e9trologie et de caract\u00e9risations des mat\u00e9riaux r\u00e9duisent les temps d’arr\u00eat de fabrication et am\u00e9liorent la qualit\u00e9 des donn\u00e9es sur les dimensions et la compositions des mat\u00e9riaux utilis\u00e9es tout au long du process de fabrication d\u2019un composant.<\/p>\n

La spectroscopie Raman\u00a0: une solution r\u00e9volutionnaire pour caract\u00e9riser les mat\u00e9riaux \u00e9mergents<\/h2>\n

\"Nova,Alors que les circuits int\u00e9gr\u00e9s et leurs composants continuent \u00e0 \u00e9voluer, de nombreux mat\u00e9riaux \u00e9mergents et compos\u00e9s sont introduits dans le processus de fabrication. Si le silicium est toujours le mat\u00e9riau semiconducteur le plus couramment utilis\u00e9 aujourd’hui, le formidable d\u00e9veloppement des technologies a en effet entra\u00een\u00e9 l’apparition de nouveaux mat\u00e9riaux<\/strong> semiconducteurs, aux comportements parfois insolites.<\/p>\n

Cette \u00e9volution a diverses cons\u00e9quences, telles que l’amincissement des couches utilis\u00e9es pour fabriquer des dispositifs avanc\u00e9s, ou la n\u00e9cessit\u00e9 de fournir des informations d\u00e9taill\u00e9es sur les propri\u00e9t\u00e9s des mat\u00e9riaux, afin de stabiliser le processus de la phase de R&D et d’assurer un contr\u00f4le efficace du processus dans la fabrication de gros volumes.<\/p>\n

Nova a donc lanc\u00e9 en 2020 Nova ELIPSON\u2122, une nouvelle plateforme de m\u00e9trologie autonome en ligne, bas\u00e9e sur la spectroscopie Raman<\/a>, con\u00e7ue pour mesurer de mani\u00e8re plus pr\u00e9cise les propri\u00e9t\u00e9s des mat\u00e9riaux. Elle fournit de nouvelles informations et caract\u00e9ristiques sur les mat\u00e9riaux, in\u00e9gal\u00e9es par tout autre syst\u00e8me de m\u00e9trologie des mat\u00e9riaux en ligne. Elle offre donc de belles perspectives sur la caract\u00e9risation des mat\u00e9riaux \u00e9mergents, tels que le Nitrure de Galium ou le Carbure de Sillicium.<\/p>\n

Nova, leader en m\u00e9trologie embarqu\u00e9e<\/h2>\n

Une partie des \u00e9quipements d\u00e9velopp\u00e9es par Nova ont \u00e9t\u00e9 con\u00e7ues pour se rattacher \u00e0 un \u00e9quipement de production existant, en minimisant son empreinte au sol. Pendant que certaines plaques sont en \u00e9tape de fabrication, d\u2019autres passent dans l\u2019\u00e9quipement embarqu\u00e9 de Nova pour \u00eatre mesur\u00e9es. Ces tools, qui peuvent \u00eatre int\u00e9gr\u00e9s \u00e0 du CMP, CVD, Etch ou lithographie, permettent de r\u00e9aliser des op\u00e9rations de mesures en temps masqu\u00e9 par rapport \u00e0 la production.<\/p>\n

Les op\u00e9rateurs \u00e9tant de moins en moins nombreux dans les fabs, les machines doivent \u00eatre extr\u00eamement fiables pour en faire des tools enti\u00e8rement automatis\u00e9s. Un v\u00e9ritable challenge aujourd\u2019hui,\u00a0avec les derni\u00e8res avanc\u00e9es technologiques, pour les usines \u00e0 forts volumes situ\u00e9es en Asie ou aux Etats-Unis, qui cherchent \u00e0 minimiser les co\u00fbts de production, donc \u00e0 r\u00e9duire les tailles de lignes de contact. \u00c0 chaque \u00e9tape, les technologies Nova sont donc l\u00e0 pour r\u00e9duire l\u2019empreinte de la puce de la plaque de silicium.<\/p>\n

Une approche holistique en mati\u00e8re de m\u00e9trologie<\/h2>\n

La valeur ajout\u00e9e de Nova r\u00e9side \u00e9galement dans le d\u00e9veloppement d\u2019une approche holistique en mati\u00e8re de m\u00e9trologie. Pour les applications les plus difficiles, Nova propose des solutions de m\u00e9trologie hybride, combinant les forces de deux ou plusieurs technologies de m\u00e9trologie pour fournir des r\u00e9sultats sup\u00e9rieurs \u00e0 ce que chaque technologie peut obtenir individuellement. Il est par exemple possible de collecter les data d\u2019un \u00e9quipement AFM, qui mesure la topographie d\u2019un mat\u00e9riau, et d\u2019int\u00e9grer les r\u00e9sultats dans le mod\u00e8le Nova pour am\u00e9liorer la pertinence de calcul.<\/p>\n

L\u2019entreprise associe en effet un mat\u00e9riel robuste de haute pr\u00e9cision \u00e0 une mod\u00e9lisation logicielle de pointe, qui int\u00e8gre l’apprentissage automatique et le big data dans des configurations int\u00e9gr\u00e9es et autonomes. Avec son offre compl\u00e8te de m\u00e9trologie des mat\u00e9riaux et de m\u00e9trologie dimensionnelle, combin\u00e9e \u00e0 une mod\u00e9lisation avanc\u00e9e, Nova permet aux fabricants de semiconducteurs de mieux comprendre l’ensemble du processus de fabrication, d’augmenter les rendements et de r\u00e9duire le temps de mise sur le march\u00e9.<\/p>\n

Big Data<\/em> et Machine Learning<\/em>\u00a0: une avance significative en la mati\u00e8re<\/h2>\n

Les solutions de mod\u00e9lisation logicielle de Nova combinent des algorithmes de premier ordre dans le domaine de l’intelligence artificielle et de l’apprentissage automatique. La suite de produits de mod\u00e9lisation logicielle de Nova est compos\u00e9e de solutions de mod\u00e9lisation physique et g\u00e9om\u00e9trique (Nova MARS\u00ae) et de mod\u00e9lisation par machine learning<\/em>.<\/p>\n

Afin de faire face aux d\u00e9fis croissants de la m\u00e9trologie des semi-conducteurs, avec les empilements de couches et les diff\u00e9rentes topographies, Nova injecte \u00e0 la fois des connaissances physiques et des connaissances li\u00e9es au processus dans le but de r\u00e9soudre les mod\u00e8les trop complexes \u00e0 mod\u00e9liser. Cette offre combin\u00e9e permet une robustesse et une pr\u00e9cision accrues, une productivit\u00e9 am\u00e9lior\u00e9e, une gamme \u00e9tendue d’applications de pointe et un d\u00e9lai de r\u00e9solution plus rapide<\/strong>.<\/p>\n

Avec la volont\u00e9 affirm\u00e9e au niveau europ\u00e9en d\u2019avoir d\u00e9sormais la capacit\u00e9 de produire leurs propres composants, face aux enjeux de souverainet\u00e9 des Etats-Unis et de l’Asie, Nova va renforcer prochainement son \u00e9quipe en Europe. Chaque fab en Europe a d\u00e9j\u00e0 mis en route ses projets d\u2019agrandissement et d\u2019augmentation de ses capacit\u00e9s. Et si le chiffre d\u2019affaires de Nova reste relativement faible sur ce continent, intensifier sa pr\u00e9sence reste toutefois hautement strat\u00e9gique, l\u2019Europe ayant certainement un r\u00f4le majeur \u00e0 jouer en termes de R&D pour l\u2019industrie du semiconducteur. Quand on connait la qualit\u00e9 des acteurs et le dynamisme des acteurs grenoblois du Semicon, ST Microelectronics, Soitec, le CEA-L\u00e9ti, ou encore Aledia et Lynred, on mesure en effet l\u2019enjeu\u00a0pour la France\u2026 et pour Grenoble !<\/p>","protected":false},"excerpt":{"rendered":"

Nova Measuring Instruments, dont le si\u00e8ge social est situ\u00e9 en Isra\u00ebl, propose une large gamme d\u2019\u00e9quipements d\u2019inspection et de m\u00e9trologie pour l\u2019industrie des semiconducteurs. L\u2019enjeu pour l\u2019entreprise et ses 750 collaborateurs, r\u00e9partis dans 18 pays\u00a0: permettre \u00e0 ses clients d\u2019am\u00e9liorer la performance des process, d\u2019obtenir des rendements plus \u00e9lev\u00e9s et d\u2019acc\u00e9l\u00e9rer la mise sur le […]<\/p>\n","protected":false},"author":11,"featured_media":35386,"comment_status":"closed","ping_status":"open","sticky":false,"template":"","format":"standard","meta":{"footnotes":""},"categories":[28,29],"tags":[177,454,455],"class_list":["post-35384","post","type-post","status-publish","format-standard","has-post-thumbnail","hentry","category-actus-entreprises","category-evenements","tag-metrologie","tag-nova-measuring-instruments","tag-semiconducteur"],"yoast_head":"\nNova, leader en m\u00e9trologie embarqu\u00e9e, joue la carte de la compl\u00e9mentarit\u00e9 m\u00e9trologie & caract\u00e9risation sur le march\u00e9s du Semiconducteur - inovall\u00e9e<\/title>\n<meta name=\"description\" content=\"Nova, leader en m\u00e9trologie embarqu\u00e9e, joue la carte de la compl\u00e9mentarit\u00e9 m\u00e9trologie & caract\u00e9risation sur le march\u00e9s du Semiconducteur.\" \/>\n<meta name=\"robots\" content=\"index, follow, max-snippet:-1, max-image-preview:large, max-video-preview:-1\" \/>\n<link rel=\"canonical\" href=\"https:\/\/www.inovallee.com\/en\/nova-leader-en-metrologie-embarquee-sur-le-marches-du-semiconducteur\/\" \/>\n<meta property=\"og:locale\" content=\"en_GB\" \/>\n<meta property=\"og:type\" content=\"article\" \/>\n<meta property=\"og:title\" content=\"Nova, leader en m\u00e9trologie embarqu\u00e9e, joue la carte de la compl\u00e9mentarit\u00e9 m\u00e9trologie & caract\u00e9risation sur le march\u00e9s du Semiconducteur - 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